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CVD系統

  • KTL-CVD-1700-1700 雙溫區管式爐CVD系統
KTL-CVD-1700-1700 雙溫區管式爐CVD系統

双色球规则对比:KTL-CVD-1700-1700 雙溫區管式爐CVD系統

  • 型號: KTL-CVD-1700-1700
  • 產品描述:KTL1700-1700 雙溫區管式爐:以1800型硅鉬棒和硅碳棒為加熱元件,有兩個加熱區,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,每個加熱區能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端裝有不銹鋼法蘭,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,該爐為臥式,兩個溫區可以獨立控制、設置不同的溫度,使用方便,操作簡單,該爐具有溫場均衡、表面溫
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CVD系統由供氣系統+雙溫區管式爐+抽氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

這款CVD系統是由8路供氣系統KTL1700-1700雙溫區管式爐+真空系統組成

KTL1700-1700 雙溫區管式爐:以1800型硅鉬棒和硅碳棒為加熱元件,有兩個加熱區,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,每個加熱區能進行30段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端裝有不銹鋼法蘭,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,該爐為臥式,兩個溫區可以獨立控制、設置不同的溫度,使用方便,操作簡單,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。

 

 

 

(1)、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負荷低,使用壽命長。

2)、采用的是熱彎技術,電阻均勻,使用壽命長

(3)、Lu冷端長度為210mm, 400X300X300爐子為260 ,一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低

(4)、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密,能夠比較好的?;す桀獍?。

 

當電路過流或漏電時,空開會自動斷開

該氣氛管式爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出


 


(1)、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

(2)、采用日本技術成型。

(3)、爐膛材料熱容低、熱傳導系數低,從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。

(4)、爐膛氧化鋁絲細而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強  

(5)、爐膛表面光潔、不易掉粉。

(全部通過UL認證的進口電器)

1、移相觸發(帶軟啟動和限流功能)

2、限流功能:無論怎么樣設置升溫速率,我們電爐的二次電流始終被限制在170A以內,有效的?;ち松璞?。由于采用限流功能,高溫下可開爐門。如果您使用的電爐需要在升溫過程中對爐子的升溫速率進行限制(例如:規定在1400℃后不

得超過3℃/min等)即采用非限流觸發器。升溫速率設置錯誤或者升溫速率過快、這時電流會非常大,設備會跳閘或燒壞。

3、軟啟動功能:開機時電流會慢慢增大,對加熱元件的沖擊較小,有利于加熱元件壽命的延長

4、?;すδ埽喝綣緦鞒拗頻緦?、觸發器會自動切斷觸發功能以切斷電流?;さ緶?。


1、變壓器電纜為純銅

2、變壓器聲音小

3、變壓器溫身低





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